ELECTRON BEAM FORMATION OF 800 A WIDE ALUMINIUM LINES

被引：8

作者：

CHANG, THP

NIXON, WC

机构：

来源：

JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1967年 / 44卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1088/0950-7671/44/3/420

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

收藏

页码：231 / &

相关论文

共 5 条

[1]

Broers A, 1965, MICROELECTRON RELIAB, V4, P103

[2]

EVERHART TE, 1964, 1 P INT C EL ION BEA, P341

[3]

LOEFFLER KH, 1966, 6 INT C EL MICR, P203

[4]

Oatley C.W., 1966, ADV ELECTRON, V21, P181, DOI DOI 10.1016/S0065-2539(08)61010-0

[5]

THORNHILL JW, 1965, MICROELECTRON RELIAB, V4, P97