A STUDY OF THE TRENCH SURFACE INVERSION PROBLEM IN THE TRENCH CMOS TECHNOLOGY

被引：10

作者：

CHAM, KM

CHIANG, SY

机构：

来源：

IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS | 1983年 / 4卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1983.25742

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：303 / 305

页数：3

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共 5 条

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