ACTIVATION OF POLYSILICON CONNECTIONS BY SELECTIVE CW-LASER ANNEALING

被引：1

作者：

CALDER, ID

NAGUIB, HM

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1985.26228

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：557 / 559

页数：3

共 7 条

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