HYDROGEN DETERMINATION IN SILICON-NITRIDE FILMS BY THE NUCLEAR RECOIL METHOD

被引：13

作者：

CHERNOV, IP ^{[1
]}

SHADRIN, VN ^{[1
]}

CHERDANTSEV, JP ^{[1
]}

SULEMA, VN ^{[1
]}

CHRAMOVA, LV ^{[1
]}

SMIRNOVA, TP ^{[1
]}

BELYI, VI ^{[1
]}

机构：

[1] ACAD SCI USSR,INST INORGAN CHEM,NOVOSIBIRSK 630090,USSR

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(82)90349-2

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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