INCORPORATION OF CONSTITUENT ATOMS OF TRANSPARENT CONDUCTIVE FILMS INTO HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON VIA GAS-PHASE

被引：2

作者：

HIRAO, T

YOSHIOKA, Y

KITAGAWA, M

MIYAUCHI, M

MATSUDA, A

TANAKA, K

WASA, K

机构：

[1] ELECTROTECH LAB, SAKURA, IBARAKI 305, JAPAN

[2] MATSUSHITA TECHNORES INC, MORIGUCHI, OSAKA 570, JAPAN

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS | 1988年 / 27卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.27.L1395

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L1395 / L1397

页数：3