HIGHLY PHOTOCONDUCTING O2-DOPED CDS FILMS DEPOSITED BY SPRAY PYROLYSIS

被引:8
作者
RICHARDS, D [1 ]
ELKORASHY, AM [1 ]
STIRN, RJ [1 ]
KARULKAR, PC [1 ]
机构
[1] ROCKWELL INT CORP,ANAHEIM,CA 92803
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1984年 / 2卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.572595
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:332 / 335
页数:4
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