MOLECULAR SIO2, MATRIX IR INVESTIGATIONS AND ABINITIO SCF-CALCULATIONS

被引：25

作者：

MEHNER, T ^{[1
]}

GOCKE, HJ ^{[1
]}

SCHUNCK, S ^{[1
]}

SCHNOCKEL, H ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV MUNICH,INST ANORGAN CHEM,MEISERSTR 1,W-8000 MUNICH 2,GERMANY

来源：

ZEITSCHRIFT FUR ANORGANISCHE UND ALLGEMEINE CHEMIE | 1990年 / 580卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1002/zaac.19905800115

中图分类号：

O61 [无机化学];

学科分类号：

070301 ; 081704 ;

摘要：

In einer Matrixreaktion zwischen (SiO)2 und O2 bildet sich dimeres SiO2. Seine Struktur (Formula Presented.) läßt sich aus den IR‐Spektren verschiedener 18O‐substituierter Isotopomerer nachweisen. Die beobachteten Frequenzverschiebungen (16O/18O und 28Si/29Si) stimmen mit denen überein, die in einer Normalkoordinatananalyse berechnet werden. Die aus experimentellen Daten abgeleitete Struktur wird auch durch quantenchemische Rechnungen unterstützt. Nach diesen Rechnungen beträgt die Dimerisierungsenergie [2SiO2 ⇌ (SiO2)2] −453 kJ mol−1. Der Bildungsmechanismus des (SiO2)2 aus (SiO)2 und O2, dem in Hinblick auf Elementarprozesse bei der Oberflächenoxidation von Silicium Wafern Bedeutung zukommt, wird diskutiert. Copyright © 1990 Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim

引用

页码：121 / 130

页数：10

共 25 条

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