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EFFECTS OF DEPOSITION CONDITIONS ON TEXTURE IN COPPER THIN-FILMS ON SI (111)
被引：11
作者：
KNORR, DB
LU, TM
机构：
来源：
TEXTURES AND MICROSTRUCTURES
|
1991年
/
13卷
/
2-3期
关键词：
THIN FILM;
COPPER;
ION BEAM DEPOSITION;
TEXTURE;
EPITAXY;
FIBER TEXTURE;
D O I：
10.1155/TSM.13.155
中图分类号：
O7 [晶体学];
学科分类号：
0702 ;
070205 ;
0703 ;
080501 ;
摘要：
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页码：155 / 164
页数：10
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