METAL-ORGANIC CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION HYBRID SUBSTRATES FOR HGCDTE

被引:14
作者
SCHMIT, JL
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | 1986年 / 4卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.574044
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:2141 / 2149
页数:9
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共 2 条
  • [1] BRYCE GR, 1984, MICROELECTRON MA OCT, P25
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