OFF-LINE QUALITY-CONTROL IN INTEGRATED-CIRCUIT FABRICATION USING EXPERIMENTAL-DESIGN

被引：117

作者：

PHADKE, MS

KACKAR, RN

SPEENEY, DV

GRIECO, MJ

机构：

来源：

BELL SYSTEM TECHNICAL JOURNAL | 1983年 / 62卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1002/j.1538-7305.1983.tb02298.x

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1273 / 1309

页数：37

共 11 条

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