ETCHING CORUNDUM WITH SILICON

被引：12

作者：

REYNOLDS, FH

ELLIOT, ABM

机构：

来源：

PHILOSOPHICAL MAGAZINE | 1966年 / 13卷 / 125期

关键词：

D O I：

10.1080/14786436608213155

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

收藏

页码：1073 / &

相关论文

共 3 条

[1] KANG KD, 1964, 2AF196283808 MOT INC
[2] MANASEVIT HM, 1965, T METALL SOC AIME, V233, P540
[3] UNVALA BA, 1963, LE VIDE, V104, P109