UV-OZONE CLEANING OF SURFACES

被引：94

作者：

VIG, JR ^{[1
]}

LEBUS, JW ^{[1
]}

机构：

[1] USA,ELECTR COMMAND,ELECTR TECHNOL & DEVICES LAB,FT MONMOUTH,NJ 07703

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON PARTS HYBRIDS AND PACKAGING | 1976年 / 12卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1109/TPHP.1976.1135156

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：365 / 370

页数：6

共 23 条

[1]

BOENIG HV, 1973, STRUCTURE PROPERTIES, P246

[2] ULTRAVIOLET DEPOLYMERIZATION OF PHOTORESIST POLYMERS [J].

BOLON, DA ;

KUNZ, CO .

[3]

BOTTOM VE, COMMUNICATION

[4]

CALVERT JG, 1966, PHOTOCHEMISTRY GASES, P689

CHESTERS, MA ;

SOMORJAI, GA .

[6]

FEDER DO, 1958, ASTM246 SPEC TECH PU, P40

[7]

Fikhtengolts V. S., 1966, ULTRAVIOLET SPECTRUM

[8] CHEMISORPTION OF OXYGEN ON GOLD [J].

FORD, RR ;

PRITCHARD, J .

[9]

HOLLOWAY PH, 1974, 12TH P ANN REL PHYS, P180

JELLISON, JL .

IEEE TRANSACTIONS ON PARTS HYBRIDS AND PACKAGING, 1975, 11 (03) :206-211