共 25 条
[1]
Becker E.W., Ehrfeld W., Hagmann P., Maner A., Munchmeyer D., Fabrication of microstructures with high aspect ratios and great structural heights by synchrotron radiation lithography, galvanoforming, and plastic molding (LIGA process), Microelectron. Eng., 4, (1986)
[2]
Harmening M., Ehrfeld W., Untersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit großer Strukturhöhe aus elektrisch leitfähigen und isolierenden Kunststoffen, KfK-Bericht 4711, (1990)
[3]
Schomburg W.K., Bley P., Hein H., Mohr J., Masken für die Röntgentiefenlithographie, VDI Berichte, 870, (1990)
[4]
Bacher W., Bley P., Hein H., Klein U., Mohr J., Schomburg W.K., Schwarz R., Stark W., Herstellung von Röntgenmasken für das LIGA-Verfahren, KfK-Nachrichten, 23, 2-3, (1991)
[5]
Schomburg W.K., Baving H.J., Bley P., Ti- and Be-X-ray masks with alignment windows for the LIGA process, Microelectron. Eng., 13, (1991)
[6]
El-Kholi A., Bley P., Gottert J., Mohr J., Examination of the solubility and the molecular weight distribution of PMMA in view of an optimized system in deep etch X-ray lithography, Microelectron. Eng., 21, (1993)
[7]
Ehrfeld W., Baving H.J., Beets D., Bley P., Gotz F., Mohr J., Munchmeyer D., Schelb W., Progress in deep-etch synchrotron radiation lithography, J. Vac. Sci. Technol, B6, 1, (1988)
[8]
Harsch S., Ehrfeld W., Maner A., Untersuchungen zur Herstellung von Mikrostrukturen großer Strukturhöhe durch Galvanoformung in Nickelsulfamatelektrolyten, KfK-Bericht 4455, (1988)
[9]
Thommes A., Bacher W., Leyendecker K., Stark W., Liebscher H., Jakob C., LIGA microstructures from a NiFe alloy: Preparation by electroforming and their magnetic properties, Proc. 1985 Meeting Amer. Electrochem. Soc., 94-6, (1993)
[10]
Michel A., Ruprecht R., Harmening M., Bacher W., Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern, KfK-Bericht 5171, (1993)