THE USE OF ION-BEAM MIXING AND RAPID THERMAL ANNEALING IN THE FORMATION OF TUNGSTEN AND MOLYBDENUM SILICIDES

被引：7

作者：

BEALE, MIJ

DESHMUKH, VGI

CHEW, NG

CULLIS, AG

机构：

来源：

PHYSICA B & C | 1985年 / 129卷 / 1-3期

关键词：

D O I：

10.1016/0378-4363(85)90571-6

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

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页码：210 / 214

页数：5

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