MICROSTRUCTURE OF ZNO FILMS USED FOR ACOUSTIC SURFACE-WAVE GENERATION

被引：35

作者：

HICKERNELL, FS ^{[1
]}

机构：

[1] MOTOROLA GOVT,ELECTR DIV,SCOTTSDALE,AZ 85252

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568692

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：879 / 883

页数：5

共 5 条

[1]

BAHR AJ, 1972, 1972 ULTR S P, P202

[2]

HICKERNELL FS, 1973, J APPL PHYS, V44, P1061, DOI 10.1063/1.1662307

HICKERNELL, FS .

[4] THEORY OF INTERDIGITAL COUPLERS ON NONPIEZOELECTRIC SUBSTRATES [J].

KINO, GS ;

WAGERS, RS .

[5] X-ray diffraction methods [J].

Warren, BE .