EFFECT OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON DC-SPUTTERED ANTIMONY-DOPED TIN-DIOXIDE FILMS

被引:5
作者
SABNIS, AG [1 ]
CHANG, KY [1 ]
机构
[1] UNIV PITTSBURGH,DEPT ELECT ENGN,PITTSBURGH,PA 15261
关键词
D O I
10.1049/el:19770079
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页数:2
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