REDUCED DAMAGE GENERATION IN GAAS IMPLANTED WITH FOCUSED BE IONS

被引：8

作者：

BAMBA, Y

MIYAUCHI, E

ARIMOTO, H

TAKAMORI, A

HASHIMOTO, H

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1984年 / 23卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.23.L515

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L515 / L517

页数：3

共 15 条

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