DIAMONDLIKE AMORPHOUS-CARBON FILMS PREPARED BY MAGNETRON SPUTTERING OF GRAPHITE

被引:158
作者
SAVVIDES, N
WINDOW, B
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1985年 / 3卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.572887
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:2386 / 2390
页数:5
相关论文
共 21 条