REVIEW OF STICKING COEFFICIENTS AND SORPTION CAPACITIES OF GASES ON TITANIUM FILMS

被引：71

作者：

HARRA, DJ ^{[1
]}

机构：

[1] VARIAN ASSOC,611 HANSEN WAY,PALO ALTO,CA 94303

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568900

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：471 / 474

页数：4

共 26 条

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