SOS ISLAND EDGE PROFILES FOLLOWING OXIDATION

被引：5

作者：

LEE, SN ^{[1
]}

KJAR, RA ^{[1
]}

机构：

[1] ROCKWELL INT CORP,3370 MIRALOMA AVE,ANAHEIM,CA 92803

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/IRPS.1975.362673

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：34 / 37

页数：4

共 5 条

ALLISON, JF ;

DUMIN, DJ ;

HEIMAN, FP ;

MUELLER, CW ;

ROBINSON, PH .

ARMSTRONG, WE ;

TOLLIVER, DL .

[3]

BLECH IA, 1970, 8TH P ANN REL S LAS, P144

[4]

NABER CT, 1972, OCT EL SOC M MIAM BE

[5] MULTILAYER METALLIZATION FOR LSI [J].

SANTORO, CJ ;

TOLLIVER, DL .

PROCEEDINGS OF THE INSTITUTE OF ELECTRICAL AND ELECTRONICS ENGINEERS, 1971, 59 (10) :1403-&