SIO2 FILM OVERLAYS FOR TEMPERATURE-STABLE SURFACE ACOUSTIC-WAVE DEVICES

被引：29

作者：

PARKER, TE ^{[1
]}

SCHULZ, MB ^{[1
]}

机构：

[1] RAYTHEON CO,RES DIV,WALTHAM,MA 02154

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.88076

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：75 / 77

页数：3

共 9 条

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