ACCELERATION COLUMN FOR A HIGH-CURRENT OXYGEN IMPLANTER

被引：2

作者：

KAIM, RE ^{[1
]}

DOUGLASHAMILTON, DH ^{[1
]}

RUFFELL, JP ^{[1
]}

机构：

[1] EATON CORP,DIV ION BEAM SYST,BEVERLY,MA

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(87)90850-0

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：321 / 323

页数：3

共 7 条

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