GAUGING FILM THICKNESS - A COMPARISON OF AN X-RAY-DIFFRACTION TECHNIQUE WITH RUTHERFORD BACKSCATTERING SPECTROMETRY

被引：14

作者：

COULMAN, B ^{[1
]}

CHEN, H ^{[1
]}

REHN, LE ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV ILLINOIS,MAT RES LAB,URBANA,IL 61801

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1985年 / 57卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1063/1.334757

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：643 / 645

页数：3

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共 3 条

[1]

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