A MONTE-CARLO CODE INCLUDING AN X-RAY CHARACTERISTIC FLUORESCENCE CORRECTION FOR ELECTRON-PROBE MICROANALYSIS OF A THIN-FILM ON A SUBSTRATE

被引：8

作者：

ARMIGLIATO, A

DESALVO, A

ROSA, R

机构：

来源：

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS | 1982年 / 15卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3727/15/10/001

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：L121 / L124

页数：4

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共 3 条

[1] APPLICATION OF MONTE-CARLO TECHNIQUE TO THE ELECTRON-PROBE MICROANALYSIS OF TERNARY SI-B-O FILMS ON SILICON [J].

ARMIGLIATO, A ;

DESALVO, A ;

RINALDI, R ;

ROSA, R .

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