SPUTTERING OF PYROLYTIC-GRAPHITE WITH OXYGEN IONS AT VARIOUS TARGET TEMPERATURES

被引:15
作者
HECHTL, E [1 ]
BOHDANSKY, J [1 ]
机构
[1] MAX PLANCK INST PLASMA PHYS, EURATOM ASSOC, D-8046 GARCHING, FED REP GER
关键词
D O I
10.1016/S0022-3115(86)80023-X
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页数:3
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