A REVOLVING MULTIPLE ELECTRON GUN FOR USE IN DEPOSITION OF THIN POLYMER FILMS

被引：4

作者：

ALLAM, DS

STUART, PR

机构：

来源：

JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1965年 / 42卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1088/0950-7671/42/11/411

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：812 / &

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共 5 条

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ALLAM DS, 1965, CHEM BRIT, V1, P410

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