PREPARATION OF AMORPHOUS TIO2 FILMS BY THERMOPHORESIS-AIDED CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:19
作者
SHIMOGAKI, Y
KOMIYAMA, H
机构
关键词
D O I
10.1246/cl.1986.267
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
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页数:2
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