SIMPLE TECHNIQUE TO OBTAIN A POSITION MODULATED SCAN IN SCANNING ELECTRON-MICROSCOPES

被引：1

作者：

DIXON, AE ^{[1
]}

WILLIAMS, DF ^{[1
]}

机构：

[1] NATL RES COUNCIL CANADA,DIV CHEM,SEMICOND GRP,OTTAWA K1A 0R6,ONTARIO,CANADA

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1984年 / 55卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1137865

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：922 / 924

页数：3

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