SPUTTERED TITANIUM OXIDE FILMS FOR MICROCIRCUIT APPLICATIONS

被引：8

作者：

LAKSHMANAN, TK

WYSOCKI, CA

SLEGESKY, WJ

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENT PARTS | 1964年 / CP11卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1109/TCP.1964.1135013

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：14 / &

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共 3 条

[1]

HASS G, 1952, VACUUM, V11, P331

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