LOW ENERGY SPUTTERING OF RESISTIVE FILMS

被引：4

作者：

MICHALAK, EM

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(67)92177-X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：317 / &

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共 5 条

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