FAST CONTROL OF THE PLASMA SURFACE

被引:31
作者
FENEBERG, W
LACKNER, K
MARTIN, P
机构
关键词
D O I
10.1016/0010-4655(84)90041-9
中图分类号
TP39 [计算机的应用];
学科分类号
081203 ; 0835 ;
摘要
引用
收藏
页码:143 / 148
页数:6
相关论文
共 6 条