EFFECTS OF OXYGEN ON THE RIE CHARACTERISTICS OF ALUMINUM FILMS

被引：5

作者：

ELDRIDGE, JM ^{[1
]}

OLIVE, G ^{[1
]}

LUTHER, BJ ^{[1
]}

MOORE, JO ^{[1
]}

HOLLAND, SP ^{[1
]}

机构：

[1] IBM GTD,BURLINGTON,VT 05401

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2100560

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：1025 / 1027

页数：3

共 7 条

[1] OXYGEN MONITORS FOR ALUMINUM AND AL-O THIN-FILMS [J].

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