USING INTEGRATED CAPACITIVE HUMIDITY SENSORS IN THICK-FILM TECHNOLOGY

被引:16
作者
SMETANA, W
WIEDERMANN, W
机构
来源
SENSORS AND ACTUATORS | 1987年 / 11卷 / 04期
关键词
D O I
10.1016/0250-6874(87)80073-2
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
摘要
引用
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页码:329 / 337
页数:9
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共 6 条
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