CONCERNING CARBON CONTENT IN SEMICONDUCTOR SILICON

被引:25
作者
SCHINK, N
机构
关键词
D O I
10.1016/0038-1101(65)90064-X
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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页码:767 / &
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共 3 条
  • [1] NEWMAN RC, 1962, METALLURGY SEMICONDU, V15, P201
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