Bei der Entwicklung mehrphasiger, hochleistungsfähiger und temperaturbeständiger keramischer Werkstoffe spielt die analytische Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) eine wichtige Rolle. Zwei sich ergänzende, quantitative Untersuchungsmethoden stehen dabei dem Materialwissenschaftler zur Verfügung. Die energiedispersive Röntgenanalyse [1] (EDX, energy dispersive X‐ray spectroscopy) eignet sich zum Nachweis und zur Ermittlung der Konzentrationen von mittelschweren bis schweren Elementen, während sich mit der Elektronenenergieverlustspektroskopie [2] (EELS, electron energy loss spectroscopy) gerade sehr leichte bis mittelschwere Elemente nachweisen und quantitativ erfassen lassen. Ein schneller, qualitativer Überblick über die Zusammensetzung des Materiales kann dabei mit beiden Methoden erhalten werden. Eine zuverlässige quantitative Analyse erfordert jedoch häufig Erfahrung und setzt die Einsicht in die physikalischen Grundlagen, die Möglichkeiten und Grenzen der Analyseverfahren voraus. So können diese Methoden bezüglich der Genauigkeit und Nachweisgrenze nicht mit anderen Verfahren wie z. B. der Röntgenfloureszenzanalyse (RFA) konkurrieren. Ein großer Vorteil ist jedoch das hohe räumliche Auflösungsvermögen, das Analysen von 10 bis 20 nm großen Bereichen gestattet. Copyright © 1990 Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim
