AMORPHOUS AL2O3 AND AL2O3-ZRO2 FILMS BY SPRAY PYROLYSIS

被引：1

作者：

NGUYEN, D

VANROODE, M

JOHAR, S

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1986年 / 135卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(86)90137-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：L19 / L21

页数：3

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共 4 条

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