ION-IMPLANTATION PROCESS MODELING

被引：1

作者：

DROZDY, G

LOHNER, T

REVESZ, P

TARNAY, K

GYULAI, J

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(83)90544-4

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：125 / 128

页数：4

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