未找到相关数据
HIGH-RESOLUTION ELECTRON-MICROSCOPE STUDY OF SILICON ON INSULATOR STRUCTURE GROWN BY LATERAL SOLID-PHASE EPITAXY
被引：5
作者：
KAWARADA, H
UENO, T
KUNII, Y
HORIUCHI, S
OHDOMARI, I
机构：
[1] Waseda Univ, Tokyo, Jpn, Waseda Univ, Tokyo, Jpn
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1986年
/
25卷
/
10期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.25.L814
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
收藏
页码：L814 / L817
页数：4
相关论文