FUNDAMENTALS OF ELECTRON-BEAM TESTING OF INTEGRATED-CIRCUITS

被引：96

作者：

MENZEL, E

KUBALEK, E

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/sca.4950050301

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：103 / 122

页数：20

共 83 条

BALK, LJ ;

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MENZEL, E .

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