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MICROANALYSIS BY FOCUSED MEV HELIUM ION-BEAM
被引：28
作者：
TAKAI, M
MATSUNAGA, K
INOUE, K
IZUMI, M
GAMO, K
SATO, M
NAMBA, S
机构：
[1] Osaka Univ, Toyonaka, Jpn, Osaka Univ, Toyonaka, Jpn
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1987年
/
26卷
/
05期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.26.L550
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
11
引用
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页码：L550 / L553
页数：4
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