ALL-DRY VACUUM SUB-MICRON LITHOGRAPHY

被引：16

作者：

KORCHKOV, VP

MARTYNOVA, TN

DANILOVICH, VS

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(83)90103-7

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：369 / 372

页数：4

共 8 条

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