OPTICAL-ABSORPTION AND DISPERSION IN RF-SPUTTERED ALPHA-HGS FILMS

被引:14
作者
NAKADA, T [1 ]
机构
[1] AOYAMA GAKUIN UNIV, DEPT ELECT ENGN & ELECTR, SETAGAYA 157, TOKYO, JAPAN
关键词
D O I
10.1063/1.321519
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:5
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