MASS-SPECTROMETRIC INVESTIGATION OF THE THERMAL-DECOMPOSITION OF VARIOUS ORGANO-SILICON COMPOUNDS IN SIXC1-X(H) CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引：12

作者：

GERAULT, JP ^{[1
]}

MORANCHO, R ^{[1
]}

CONSTANT, G ^{[1
]}

MAZEROLLES, P ^{[1
]}

MANUEL, G ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV TOULOUSE 3,ORGANOMET LAB,ERA 829,F-31062 TOULOUSE,FRANCE

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0165-2370(82)80027-2

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：59 / 72

页数：14

共 11 条

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