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BLAZED GRATINGS AND FRESNEL LENSES FABRICATED BY ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY
被引:145
作者
:
FUJITA, T
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0
FUJITA, T
NISHIHARA, H
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NISHIHARA, H
KOYAMA, J
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KOYAMA, J
机构
:
来源
:
OPTICS LETTERS
|
1982年
/ 7卷
/ 12期
关键词
:
D O I
:
10.1364/OL.7.000578
中图分类号
:
O43 [光学];
学科分类号
:
070207 ;
0803 ;
摘要
:
引用
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页码:578 / 580
页数:3
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