BLAZED GRATINGS AND FRESNEL LENSES FABRICATED BY ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY

被引:145
作者
FUJITA, T
NISHIHARA, H
KOYAMA, J
机构
关键词
D O I
10.1364/OL.7.000578
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
收藏
页码:578 / 580
页数:3
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