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MICRO-AUTOMATING SEMICONDUCTOR FABRICATION

被引：5
作者：
BUSCHVISHNIAC, IJ
机构：
来源：
IEEE CIRCUITS AND DEVICES MAGAZINE | 1991年 / 7卷 / 04期
基金：
美国国家科学基金会;
关键词：
D O I：
10.1109/101.134569
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
Automating very-small-scale mechanical processes has confounded the best efforts of engineers, but now there's progress. © 1991 IEEE
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页码：32 / 37
页数：6
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[1]   APPLICATIONS OF MAGNETIC LEVITATION-BASED MICROAUTOMATION IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING [J].
BUSCHVISHNIAC, IJ .
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