A SIMPLE AND EFFICIENT INTERNAL HEATER FOR BAKING VACUUM-SYSTEMS

被引:1
作者
LEGRAND, AD
GREENE, EF
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1983年 / 1卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.572186
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:1556 / 1557
页数:2
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共 3 条
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