CHARACTERIZATION OF MICRODEFORMATION AND CRYSTAL DEFECTS IN SILICON-WAFER SURFACES

被引：26

作者：

KUGIMIYA, K

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1983年 / 130卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2119537

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：2123 / 2125

页数：3

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