A THIN-FILM WAVE-GUIDE PHOTODETECTOR USING HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON

被引:6
作者
HOWERTON, MM [1 ]
BATCHMAN, TE [1 ]
机构
[1] UNIV VIRGINIA,DEPT ELECT ENGN,CHARLOTTESVILLE,VA 22901
关键词
D O I
10.1109/50.9255
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:1854 / 1860
页数:7
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