ZERO STABILITY AND CALIBRATION RESULTS FOR A GROUP OF CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGES

被引：26

作者：

HYLAND, RW

TILFORD, CR

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1985年 / 3卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.573009

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1731 / 1737

页数：7

共 5 条

[1]

[Anonymous], COMMUNICATION

HEYDEMANN, PLM ;

TILFORD, CR ;

HYLAND, RW .

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