GENERALIZATION OF THE MODEL FOR THE J-V CHARACTERISTICS OF DC SPUTTERING DISCHARGES

被引：20

作者：

MANIV, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.336841

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：66 / 70

页数：5

共 12 条

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